Sub-Substansi Monitoring dan Evaluasi mempunyai tugas:

1. menyusun dan melaksanakan rencana program dan kegiatan sesuai bidang tugasnya;
2. menyiapkan bahan perumusan kebijakan teknis  berkaitan bidang tugasnya;
3. merencanakan dan melakukan monitoring pelaksanaan survei bidang TIK, sosial, ekonomi, polhukam untuk menjadi bahan masukan dan perbaikan kegiatan survei pada masa akan datang;
4. membantu melakukan evaluasi pelaksanaan survei bidang TIK, sosial, ekonomi, polhukam untuk menjadi bahan masukan dan perbaikan kegiatan survei pada masa akan datang;
5. mempersiapkan bahan laporan monitoring dan evaluasi pelaksanaan survei bidang TIK, sosial, ekonomi, polhukam untuk menjadi bahan masukan dan perbaikan kegiatan survei pada masa akan datang;
6. merencanakan dan membuat analisa penilaian dari hasil monev pelaksanaan survei bidang TIK, sosial, ekonomi, dan polhukam;
7. memantau, mengevaluasi, dan supervisi pelaksanaan kegiatan bidang tugasnya;
8. membuat laporan hasil pelaksanaan program dan kegiatan sesuai bidang dan tugasnya;
9. melaksanakan pengendalian intern pemerintahan; dan
10. melaksanakan tugas lain yang diperintahkan oleh atasan sesuai dengan ketentuan peraturan perundang-undangan.